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      這篇文章幫助你了解CVD管式爐的產品特點以及注意事項

      時間:2021-11-19點擊次數:2131
         CVD管式爐由管式爐+真空系統+供氣系統組成,大溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
        CVD管式爐產品特點:
        1、控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。
        2、氣路快速連接法蘭結構采用本公司知識產權設計,提高操作便捷性。
        3、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。
        CVD管式爐使用注意事項:
        1、冷爐使用時,由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質,以免出現噴料現象,污染爐管。
        2、定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好,應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。
        3、使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內的清潔。
        4、爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現不透明現象,這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正?,F象。

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